之前我們介紹過《四探針電阻率測試儀的檢定要求和環境》，本文再給大家介紹下四探針電阻率測試儀不同檢定方法所需的設備。
一、檢定四探針電阻率測試儀，如果用整體法檢定，應具備下列設備：
1.一臺放大倍數不低于400倍的工具顯微鏡，若干片拋光樣片。
2.一臺測力儀，測力儀的技術指標為：
(a)測力范圍：0～9.8N
(b)測力儀總不確定度≤5%
3.三套共13個標稱的標準樣片，電阻率名義值為0.001，0.01，0.1，1，2.5，5，10，75，100，180，250，500，1000Ω·cm。
注：整體方法檢定電阻率測試儀的標準樣片，表面應沒有任何臟物，長期使用應注意定期清洗(按標準樣片使用說明中規定的方法清洗)，以保持樣片表面的清潔。
二、檢定四探針電阻率測試儀，如果用分部件檢定，還應具備下列設備：
1.一套標準電阻，標準電阻的標稱值為0.001，0.01，0.1，1，10，100，1000Ω共七個阻值。其電阻本身具有溫度修正系數，以備作模擬電路的電阻r。
2.若干只不同標稱值的一般電阻，以備作模擬電路的電阻R。
3.0.1℃分度值的溫度計一只。
另外再補充介紹下四探針電阻率測試儀的探頭檢定。
1、測量探針壓力：用測力儀測出每根針的力及四根針的合力。
2、觀察探針壓痕形狀。測量壓痕直徑和間距。
用一個拋光面的硅片，在被檢儀器四探針的力為合格值時，壓10組壓痕(注意10組壓痕的排列順序，不可弄亂)。然后用顯微鏡觀察每個壓痕的形狀，讀出Y軸YA和YB讀數(即每組壓痕中的zui大值與zui小值)，并算出YA和YB的差值。然后測量壓痕直徑及相鄰兩個壓痕之間的距離。合格的探針壓痕是指觸點均勻接觸，而無滑動的痕跡。探針壓痕的直徑和間距按公式計算。
以上是四探針電阻率測試儀不同檢定方法所需設備的全部內容，更多信息咨詢!
